Фотолитографический метод создания тонкопленочных ВТСП структур: Лабораторный практикум
Сычев С.А., Серопян Г.М., Позыгун И.С., Семочкин В.В.
Материал соответствует Государственному образовательному стандарту по специальности 010400 ''Физика''. Даются представления о фотолитографическом методе создания тонкопленочных структур с использованием метода сухого травления и, в частности, микроструктур из тонких ВТСП пленок для изготовления элементов сверхпроводящей криоэлектроники. Может быть использован студентами других специальностей
Kategorije:
Godina:
2004
Izdavač:
Изд-во ОмГУ
Jezik:
russian
Strane:
14
Fajl:
PDF, 267 KB
IPFS:
,
russian, 2004
Litres
Želite da dodate knjižaru? Kontaktirajte nas na support@z-lib.fm
File converter
Više rezultata pretrage
More benefits 
Najčešći pojmovi
Povezani Spiskovi knjiga
